Atmosphärendruck-Plasmatechnik   Für die technische Realisierung von Atmosphärendruck-Plasmaprozessen benötigt man eine folgendermaßen zusammengesetzte Apparatur: Da beim Atmosphärendruck-Plasma kein Vakuumsystem benötigt wird, ist der kontinuierliche In-line-Betrieb als Lösung anzustreben. Die Prozesse können flexibel und komplex gestaltet werden, da man durch Variation der Prozeßparameter (Gasfluß, Leistung, Abstand) die Wirkungsweise des Plasmas ändern und mehrere Effekte in einem Prozeßschritt erzielen kann. Grundsätzlich gibt es keine Unterschiede zwischen den Plasmen, die im Niederdruck und denen, die im Atmosphärendruck erzeugt werden. Die Unterschiede im Detail richten sich nach der Art der Energieeinspeisung und nach den im Atmosphärendruck wesentlich geringeren freien Weglängen.   Mit Atmosphärendruckplasmen kann die Substratoberfläche sowohl gereinigt und aktiviert werden als auch wie beim Niederdruckplasma durch Plasmapolymerisation eine Schicht abgeschieden werden. Kombinationen aus Aktivierung und Plasmapolymerisation sind ebenfalls realisierbar.   Weitere Vorteile der Atmosphärendruck-Plasmatechnik: Im Rahmen seiner Funktion als Dienstleister im Technologietransfer bietet das IFAM seine Ressourcen für die Bearbeitung der oben genannten industriellen Fragestellungen bis zur Serie an. Unser Service umfaßt Beratung, Prozeßentwicklung, Bemusterung und industrielle Einführung.
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