Niederdruck-Plasmatechnik
Mit
Niederdruckplasmen kann man Oberflächen reinigen,
aktivieren
und durch Plasmapolymerisation
beschichten.
Für
die technische Realisierung derartiger Niederdruck-Plasmaprozesse
benötigt man eine folgendermaßen zusammengesetzte Apparatur:
Durch die Notwendigkeit eines Vakuumsystems ist in den allermeisten Fällen der Batchbetrieb die einfachste Lösung. Die Prozesse können flexibel und komplex gestaltet werden, da man durch Variation der Prozeßparameter (Druck, Gaszusammensetzung, Gasfluß, Leistung) die Wirkungsweise des Plasmas ändern und mehrere Effekte in einem Prozeßschritt erzielen kann. So kann z.B. ohne größeren Aufwand eine Feinreinigung durchgeführt und unverzüglich danach eine Korrosionsschutzschicht aufgebracht werden, ohne zwischendurch belüften zu müssen.Vakuumsystem (Pumpe, Kessel) Energieeinspeisung Gaszufuhr Mess- und Regelungskomponenten zur reproduzierbaren Einstellung der Prozeßparameter
Weitere
Vorteile der Niederdruckplasmatechnik:
gute Spaltgängigkeit des Plasmas: es können selbst komplizierteste Geometrien behandelt bzw. beschichtet und sogar poröse Substrate infiltriert werden. keine thermische oder mechanische Belastung der Substrate hohes Maß an Umweltverträglichkeit und Arbeitssicherheit
Am
Fraunhofer Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung
stehen verschiedene für unterschiedliche Fragestellungen konzipierte
Anlagen (Schüttgut, Batchware, Bahnware, Reaktorgröße bis
3 m3, MHz- und GHz-Anregung), sowie langjährige
Erfahrungen in der Entwicklung von Plasmaverfahren und der Konzipierung
von dafür geeigneten Anlagen bis hin zum Pilotmaßstab zur Verfügung.
Im Rahmen seiner Funktion als Dienstleister im Technologietransfer bietet das IFAM Bremen seine Ressourcen für die Bearbeitung der oben genannten industriellen Fragestellungen bis zur Serie an. Unser Service umfaßt Beratung, Prozeßentwicklung, Bemusterung und industrielle Einführung durch Pilotanlagenbau.
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